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半导体洁净车间建设百级洁净室安装FFU施工工艺设计要求及流程
作者: 艾厦建筑装饰    发表时间:2023/7/7 10:40:52    浏览量:677

半导体洁净车间建设百级洁净室安装FFU施工工艺设计要求及流程


百级洁净室的空气洁净度为100个颗粒/立方英尺,也就是空气中直径大于0.5微米的颗粒数不超过100个。百级洁净是通常用于半导体医疗、制药、食品加工等领域的洁净车间,要求空气中的微粒含量也比较低,以保证半导体等产品质量。下面浅谈一下半导体洁净车间建设百级洁净室安装FFU施工工艺设计要求及流程。


半导体洁净车间建设百级洁净室安装FFU施工工艺设计要求及流程_磊建净化


半导体洁净车间洁净室房间的围护结构一般由金属墙板制成,一般建成后,布局不能随意改变,但由于工艺的不断更新,原有的洁净车间洁净度布局无法满足新工艺的需要,导致洁净室洁净车间因产品更换需要频繁更换,浪费了大量的财力物力。


半导体洁净车间洁净室施工可通过增加或减少FFU净化单元的数量,可以局部调整房间的清洁布局,以满足过程的变化,FFU净化单元有自己的动力,风口和灯具可以节省大量的投资,这对于通常集中送风的净化系统来说几乎是不可能的。


半导体洁净车间建设百级洁净室安装FFU施工要求_磊建净化


一、半导体洁净车间百级洁净室采用FFU风机过滤单元设计方案。


半导体洁净车间百级区天花板上覆盖着FFU风机净化单元。清洁空气从百级区侧墙下部的高架地板或进入垂直风管,通过垂直风管进入静压箱,通过ffu风机净化单元进入室内,达到循环效果。


半导体洁净车间百级区上部ffu风机净化单元垂直送风,百级区ffu风机净化单元与吊架之间的泄漏对百级区洁净度影响较小。

ffu风机净化单元重量轻,采用罩入式安装方式,使安装,更换,维修更加方便。


半导体洁净车间建设百级洁净室安装FFU施工_磊建净化


缩短施工工期,ffu风机过滤单元系统节能显著,解决了空调机房巨大,空调机组运行成本增加的缺点,ffu独立的结构特点可以随时调整,弥补洁净室机动性不足,解决了生产过程不适合调整的缺点。


半导体洁净车间洁净室ffu循环系统的使用不仅节省了运行空间,清洁安全性高,运行成本低,操作灵活性高,系统可以在不影响生产的情况下随时升级调整,可以很好地满足半导体洁净车间洁净室的需求,因此,在半导体等制造业中使用ffu循环系统逐渐成为主要的清洁设计方案。


半导体洁净车间建设百级洁净室_磊建净化

二、半导体洁净车间百级洁净室FFU过滤器安装流程


1、从运输包装箱中小心地取出高效过滤器,查看在运输过程中是否有任何部件损坏。取下塑料包装袋,将FFU和高效过滤器放置在清洁的房间内。


2、把FFU及高效过滤器安装在吊顶龙骨上。至少2人在待安装FFU的吊顶天花上准备,人运送FFU箱体至安装位置龙骨下,由另外在梯子上的2人托起箱体,箱体与天花呈45度,穿过天花。吊顶天花上的2人应手握FFU把手,接过FFU箱体平放于旁边的吊顶天花上等候盖上过滤器。


3、梯子上2人接过搬运人员递过来的高效过滤器,双手握住高效过滤器边框,与天花呈45度,穿过天花,过程轻拿轻放,禁止触碰过滤器表面。吊顶天花2人接过高效过滤器,对齐龙骨四边平行放下,注意过滤器风向,出风面应朝下。


4、把FFU箱体对齐过滤器四周放下,过程轻拿轻放,注意不能让箱体边缘触碰过滤器,根据厂家提供电路图和买方的电气规章,使用电缆将风机单元连接到适当电压的电源上。

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来源:百级洁净室FFU施工工艺、要求及流程



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